材料选型与采购目录

衬底与镀膜耗材

衬底、坩埚和镀膜耗材是材料加工与沉积系统的配套部件。选型不仅涉及尺寸，也取决于接触材料、温度和设备结构；衬底还应明确晶向、表面状态及加工要求。

选型要点：提供设备或图纸、接触材料、尺寸、公差和使用条件。