查阅蒸发资料时，请先区分
饱和蒸气压对应温度不等于机台设定温度。请按实际材料状态、加热源、舟皿或内衬、目标沉积速率及设备规程核对；需要材料或耗材时，可一并提供规格与使用条件。
饱和蒸气压对应温度
[基准：10⁻⁴ Torr 饱和蒸气压]
材料工具 / 蒸气压 · 温度条件
蒸发材料参考
查阅常用材料在指定饱和蒸气压下的对应温度，结合加热源与舟皿资料核对。
资料与适用范围
本页整理公开技术资料，非科泰实测结果。温度对应10⁻⁴ Torr饱和蒸气压，不等于机台设定温度或保证沉积速率；请核对物态、材料组成和设备文件。
参考出处：材料沉积参考表 ↗（Kurt J. Lesker Company）。原表热蒸发与电子束内衬栏目请分别查阅。